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各行業無塵車間溫濕度規范要求(參考)

 更新日期:2025-05-13 點擊量:1190

各行業無塵車間溫濕度規范要求(參考

無塵車間對溫濕度的控制取于其生產工藝。例如怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度,相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事/故。今天,我們來看常見無塵車間對溫濕度有要求的工藝。

示例

在精密機械加工和計量等場合,為了防止因熱膨脹而引起的誤差,須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如,在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線,工藝允許線間公差為2um,其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差,另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量=0.20C[a為尺線膨脹系數,取10/um/(m?K);l為尺長,m],故工件溫度變化需在:()以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性,空氣溫度的波動傳人工件后,就要衰減。在設計恒溫系統時,一般總是以恒定環境空氣溫度為依據,故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此,在確定恒溫室參數和選擇自動控制時,須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。

示例 

在電子行業制造車間是產生靜電的地方,通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒/故,所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%,這樣即可以減少靜電的產生,通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚,電子廠無塵車間無特殊要求的情況下,溫度控制在22 ℃ 左右,相對濕度控制在 55 ~ 60%RH 之間,在這種環境下,人們感覺舒適,靜電也消失了。

示例 

SMT車間對溫度和濕度有明確的要求,主要是為了錫膏能工作在一個較好的環境 ,溫度會影響錫膏的活性,對于里面所添加的助焊劑的相關溶劑的活性有一定的影響。溫度高會增加其的活性,影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現虛焊,焊點不光澤等現象。 濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少,如過吸如過多水氣,會使回流時產生氣空,飛漸,連焊等現象。故SMT恒溫恒濕車間溫濕度標準: 溫 度: 24±2℃ 濕 度: 50±10%。 

示例 

在生物制藥潔凈車間中對易吸潮藥品的相對濕度要求45% 一50%RH(夏季),片劑等固體制劑50% ~55%RH,水針及口/服液55% ~65%RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產質量。

示例 

在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。 濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種/故。相對濕度在50%時易生銹。

示例 

食品保健品飲料等車間對對生產潔凈度要求比較高,通常為10萬級至萬級以上,但同時車間的濕度越低越容易滋生細jun,細jun和其他生物污染,在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁zhi。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時,可以使細jun的影響以及呼吸道感染降至低

綜合以上多個行業我們總結出溫濕度對無塵車間的五大影響

1、細jun生長;  
2、工作人員感到室溫舒適的范圍;  

3、出現靜電荷;  

4、金屬fu蝕;  

5、水汽冷凝;  

6、光刻的退化; 

7、吸水性。

所以無塵車間的溫濕度控制由其生產工藝決定,但其精度同時也要看其房間的大小例如計量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩者都為小房間,空調精度(這里主要指溫濕度)要求高;后兩者為較大的生產車間,溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。

 


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